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5-7
磁控濺射鍍膜設(shè)備是一種利用磁場(chǎng)控制的等離子體濺射技術(shù),用于在各種材料表面沉積薄膜的高科技設(shè)備,廣泛應(yīng)用于微電子、光電子、納米技術(shù)、新材料等領(lǐng)域,為現(xiàn)代工業(yè)和科研提供了一種高效、環(huán)保的薄膜制備方法。磁控濺射鍍膜設(shè)備的工作原理是利用磁場(chǎng)控制等離子體中的帶電粒子,使其在靶材表面產(chǎn)生高密度的等離子體,從而實(shí)現(xiàn)高效的濺射過程。具體來說,主要包括真空腔體、靶材、基片、磁場(chǎng)系統(tǒng)、氣體供應(yīng)系統(tǒng)和電源系統(tǒng)等部分。在濺射過程中,首先將真空腔體抽至高真空狀態(tài),然后通入惰性氣體(如氬氣)。在電場(chǎng)作用...
4-25
實(shí)驗(yàn)室涂膜機(jī)是一種用于在材料表面涂覆薄膜的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、化學(xué)、生物等領(lǐng)域的研究中。以下是實(shí)驗(yàn)室涂膜機(jī)的操作步驟與技巧,幫助您全面掌握其使用方法。一、操作步驟準(zhǔn)備階段:首先,確認(rèn)涂膜機(jī)的電源和氣源已經(jīng)連接,并檢查緊固件是否牢固。同時(shí),將待涂布底材(如玻璃片、塑料片等)平放在涂布底座上,確保底材與底座緊密貼合。涂膜調(diào)節(jié):打開涂膜機(jī)控制面板,找到“厚度”調(diào)節(jié)按鈕,根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求逐漸調(diào)節(jié)涂膜厚度到指定數(shù)值。同時(shí),還可以調(diào)節(jié)涂布速度、溫度等參數(shù),以獲得最佳的涂膜效果。涂膜操作...
4-17
熱蒸發(fā)鍍膜設(shè)備是一種在真空條件下,通過加熱使固體材料蒸發(fā)并沉積在工件表面的設(shè)備。為了確保其正常運(yùn)行和延長(zhǎng)使用壽命,日常的維護(hù)和保養(yǎng)非常重要。以下是對(duì)熱蒸發(fā)鍍膜設(shè)備進(jìn)行日常維護(hù)和保養(yǎng)的一些建議:1、保持清潔:定期清理表面、真空室、蒸發(fā)器等部件的灰塵和雜質(zhì)。使用干凈的軟布或棉簽輕輕擦拭,避免使用硬物刮傷表面。對(duì)于難以清理的部分,可以使用專用清洗劑進(jìn)行清洗。2、檢查真空泵:真空泵是其核心部件,需要定期檢查其工作狀態(tài)。觀察真空泵油位是否正常,如有異常應(yīng)及時(shí)更換。同時(shí),檢查真空泵的密封...
4-1
鍍膜設(shè)備,也被稱為薄膜鍍膜設(shè)備,是一種在材料科學(xué)領(lǐng)域廣泛應(yīng)用的科學(xué)儀器。它主要用于在不同材料的表面涂覆一層薄膜,以改善材料的性能或?qū)崿F(xiàn)特定的功能。以下是一些主要的應(yīng)用領(lǐng)域:1、電子和半導(dǎo)體行業(yè):多功能鍍膜設(shè)備在電子和半導(dǎo)體行業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用,用于制造集成電路、微電子器件、光電子器件等。在這些領(lǐng)域中,主要用于在硅片、陶瓷、金屬等材料表面制備導(dǎo)電、絕緣、半導(dǎo)體等功能薄膜,以滿足不同器件的性能要求。2、光學(xué)行業(yè):在光學(xué)行業(yè)中,主要用于制備各種光學(xué)薄膜,如增透膜、反射膜、偏振膜、濾...
3-12
勻膠顯影機(jī)在半導(dǎo)體生產(chǎn)中扮演著至關(guān)重要的角色。在半導(dǎo)體制造的復(fù)雜流程中,勻膠顯影機(jī)是光刻工藝過程中重要的一部分,與光刻機(jī)配套使用,共同完成精細(xì)的光刻工藝流程。具體來說,勻膠顯影機(jī)主要用于在半導(dǎo)體晶圓片上均勻涂覆光刻膠,并進(jìn)行精確的顯影處理。光刻膠是半導(dǎo)體制造中的一種關(guān)鍵材料,它能夠在特定光線的照射下發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而在晶圓片上形成精細(xì)的圖案。勻膠顯影機(jī)通過精確控制涂膠和顯影的過程,確保光刻膠的均勻性和顯影的準(zhǔn)確性,為后續(xù)的刻蝕和沉積等工藝步驟提供高質(zhì)量的圖案模板。此外,隨著集...
3-11
小型真空鍍膜機(jī)原理:采用電阻式蒸發(fā)原理,利用大電流加熱鉬舟或鎢絲藍(lán)或固定支架上的鍍膜材料,使其在高真空下蒸發(fā),沉積在被鍍樣品上以獲得鍍膜效果。適用范圍:電子顯微鏡樣品制備和清潔光欄,以及科研、教學(xué)和企業(yè)中的實(shí)驗(yàn)活動(dòng)、工藝試驗(yàn)。使用了大抽速、高壓縮比、自然風(fēng)冷卻復(fù)合分子泵,確保噴鍍時(shí)能夠迅速抽掉蒸發(fā)源和樣品放出的氣體;正常情況下噴鍍室內(nèi)極少有油蒸氣回流,非常清潔.小型真空鍍膜機(jī)是一種常用的表面處理設(shè)備,主要用于在材料表面鍍上一層薄膜,以改善其性能。為了確保設(shè)備的正常運(yùn)行和延長(zhǎng)使...
3-4
自動(dòng)勻膠顯影機(jī)是一種用于半導(dǎo)體制造、微電子、納米技術(shù)和光電器件等領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備。它主要用于在襯底上均勻涂覆光刻膠,并通過顯影過程將光刻圖案轉(zhuǎn)移到襯底上。勻膠和顯影過程的實(shí)現(xiàn)主要依賴于以下幾個(gè)步驟:1、襯底加載:首先將待處理的襯底放入自動(dòng)勻膠顯影機(jī)的載片臺(tái)上。載片臺(tái)通常具有真空吸附功能,以確保襯底在處理過程中保持穩(wěn)定。2、勻膠過程:勻膠過程主要包括滴膠、旋轉(zhuǎn)涂布和溶劑蒸發(fā)三個(gè)階段。a)滴膠:在襯底中心滴上一定量的光刻膠。光刻膠的粘度、表面張力和滴膠量等參數(shù)需要根據(jù)襯底尺寸和所需...
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