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烤膠機(jī)是針對半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)中晶圓烘烤而設(shè)計(jì)的一款產(chǎn)品,是—種設(shè)計(jì)為精確控溫、準(zhǔn)確計(jì)時(shí)和接近式加熱的高性能實(shí)驗(yàn)窒設(shè)備,帶有真空吸附、頂針定位烤膠、線性升溫等功能,可實(shí)現(xiàn)智能化編程烤膠控制。儀器采用高精度微處理器,溫度控制更加精確??赏瑫r(shí)顯示設(shè)定溫度和實(shí)際溫度,外觀小巧精致,更適宜通風(fēng)櫥使用。結(jié)構(gòu)簡單,可靠性高,元器件均做防腐蝕處理加熱部件與元器件分離設(shè)計(jì),更加耐用??灸z機(jī)外殼采用不銹鋼鍍膜處理,耐氧化不變色。加熱部件采用高溫加熱盤管,具有使用壽命長,加熱均勻性高的特點(diǎn)。采用新穎...
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勻膠機(jī)的勻膠轉(zhuǎn)速是勻膠過程中最重要的因素。基片的轉(zhuǎn)速不僅影響到作用于光刻膠的離心力,而且還關(guān)系到緊挨著基片表面空氣的*湍動和基片與空氣的相對運(yùn)動速度。光刻膠的最終膜厚通常都由勻膠轉(zhuǎn)速所決定。尤其在高速旋轉(zhuǎn)這個階段。膜厚在很大程度上是作用于液體光刻膠上﹑方向朝基片邊緣的剪刀力與影響光刻膠粘度的干燥速率之間平衡的結(jié)果。隨著光刻膠中溶劑不斷揮發(fā),粘度越來越大,直到基片旋轉(zhuǎn)作用于光刻膠的離心力不再能使光刻膠在基片表面移動。到這個點(diǎn)上,膠膜厚度不會隨勻膠時(shí)間延長而變薄。勻膠機(jī)勻膠過程中...
12-21
涂布機(jī)用送料效率和什么有關(guān)目前應(yīng)用的涂布機(jī)送料機(jī)構(gòu),包括保護(hù)殼體電機(jī)和絕緣桿,設(shè)有操作結(jié)構(gòu),使機(jī)構(gòu)可以自由伸縮和展開,便于涂布機(jī)的加工,增加方便的機(jī)制,性和實(shí)用性解決了機(jī)構(gòu)在使用后占用大空間的問題,并設(shè)有伸縮支撐桿,伸縮支撐桿采用伸縮桿結(jié)構(gòu),伸縮支撐桿可以自由伸展和伸縮以便于機(jī)構(gòu)的支撐,并且便于伸縮支撐桿的伸縮和放置。當(dāng)涂布機(jī)結(jié)構(gòu)向上移動時(shí),結(jié)構(gòu)使金屬導(dǎo)電塊遠(yuǎn)離電機(jī)電源線的中間,從而斷開電機(jī)電源線使電機(jī)斷電,保護(hù)設(shè)備的正常運(yùn)行的機(jī)制,同時(shí)涂布機(jī)設(shè)有干燥裝置,該干燥裝置通過上干...
12-8
點(diǎn)膠機(jī)日常使用時(shí)遇到這些情況怎么處理一點(diǎn)膠機(jī)加熱不運(yùn)行什么原因?桌面型點(diǎn)膠機(jī)是沒有獨(dú)立加熱系統(tǒng)的,如果需要加熱需要為點(diǎn)膠機(jī)配置額外的點(diǎn)膠機(jī)加熱器,所以點(diǎn)膠機(jī)不加熱是加熱器出現(xiàn)了問題。二點(diǎn)膠機(jī)膠量薄是什么原因?影響點(diǎn)擊效果的因素通常有點(diǎn)膠量的大小,點(diǎn)膠壓力,針頭大小,針頭與工作面之間的距離,膠水的粘度,膠水溫度,固化溫度曲線,膠水中氣泡,需要特殊設(shè)定的流體等等。1.點(diǎn)膠量的大小通常認(rèn)為膠點(diǎn)直徑的大小應(yīng)為產(chǎn)品間距的一半,這樣就可以保證有充足的膠水來粘結(jié)組件又避免膠水過多。點(diǎn)膠量多...
11-25
勻膠機(jī)是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備,膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。從其原理來說,可以看出選購勻膠機(jī)需要注意的幾個細(xì)節(jié):旋轉(zhuǎn)速度轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能精確標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。進(jìn)口的勻膠機(jī)雖然大部分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速,但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有國際標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)...
11-17
勻膠機(jī)是一種用于將膜施加到基材上的裝置1.什么是旋涂機(jī)?用于旋涂的機(jī)器稱為旋涂機(jī)。旋轉(zhuǎn)涂敷儀(SpinCoater),有許多名稱:甩膠機(jī)、涂膠機(jī)、勻膠機(jī)、涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜儀等,主要應(yīng)用于溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂...
10-27
一起來了解一下勻膠機(jī)的旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)是什么吧勻膠機(jī)是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備,膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。下面讓我們一起來了解一下勻膠機(jī)的旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)吧旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)所使用的設(shè)備是勻膠機(jī)。勻膠機(jī)有很多種稱謂,英文叫SpinCoater或者SpinProcessor,又稱甩膠機(jī)、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)??偟膩碚f,他們原理都是一樣的,即...
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