紫外清洗機(jī)是一種廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的清洗設(shè)備,其主要作用是去除半導(dǎo)體器件表面的污染物,從而提高其表面的清潔度,并保證器件的正常工作。
紫外清洗機(jī)的操作步驟如下:
1、準(zhǔn)備工作:首先需要將紫外清洗機(jī)準(zhǔn)備好,包括清洗腔室、噴嘴、傾斜角度、紫外燈等,同時(shí)需要保證清洗機(jī)內(nèi)無任何雜質(zhì)。
2、選擇程序:根據(jù)需要清洗的半導(dǎo)體器件的類型和污染物的種類,選擇相應(yīng)的清洗程序。
3、清洗之前:在開啟清洗程序之前,需要將半導(dǎo)體器件先清洗干凈。將器件置于去離子水中,輕輕地搓洗幾分鐘,然后用去離子水沖洗干凈。清洗后,應(yīng)在紫外清洗機(jī)內(nèi)進(jìn)行清洗程序。
4、開啟清洗程序:?jiǎn)?dòng)清洗程序,紫外燈將開始輻射。此時(shí)半導(dǎo)體器件將立即開始被清洗。
5、時(shí)間控制:清洗時(shí)需要控制時(shí)間,一般情況下,清洗時(shí)間在5~10分鐘左右。時(shí)間太短會(huì)導(dǎo)致清洗,時(shí)間過長(zhǎng)則會(huì)浪費(fèi)清洗機(jī)資源,增加清洗成本。
6、清洗結(jié)束:清洗結(jié)束后,需要將半導(dǎo)體器件取出并水洗干凈。用離子風(fēng)或干氮將半導(dǎo)體器件吹干即可。
需要注意的是,紫外清洗機(jī)的操作步驟不僅僅是以上這些,具體操作方式還需要根據(jù)清洗機(jī)的不同型號(hào)和半導(dǎo)體器件的要求進(jìn)行調(diào)整。同時(shí),為了保證清洗的效果和安全,清洗機(jī)的操作人員應(yīng)該具備一定的理論知識(shí)和實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),才能有效地操作清洗機(jī)。