EZ4-S參數(shù)
1.轉(zhuǎn)速范圍:100-9999RPM,轉(zhuǎn)速分辨率:1RPM
2.大單步步長3000S,旋轉(zhuǎn)時間分辨率1S
3.加速度可控范圍:100-9999RPM/S
4.可處理碎片(小于1cm)至4英寸(100mm)圓晶底物
5.液晶文本顯示,可提供中英文操作界面,簡單易用
6.快速運(yùn)行和程控運(yùn)行可選,多5組5步的程控操作模式
7.100W直流無刷電機(jī),寬電壓適用:AC100-230V輸入
.標(biāo)配三種規(guī)格鋁合金真空載物盤(直徑10mm、25mm、55mm)
9.乳白色PP耐腐蝕外殼,耐腐蝕開模內(nèi)腔
10.外型尺寸:210(W)*265(D)*213(H)
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